반도체 리소그래피용 광원 제조 업체인 기가포톤 주식회사(본사: 토치기현 오야마시, 대표이사 사장: 우라나카 카츠미)는 신형 KrF 노광 장치용 광원 ‘G60K’를 양산하기 시작했다고 발표했다.

세계적인 반도체 부족이 여전히 계속되는 가운데 RF 통신 처리 및 차량용 반도체 등에 사용되는 40nm 이전의 성숙한 노드에 대한 반도체 수요 증가, 3D NAND 생산 기술의 레이어 수 확대에 따른 용량 증대로 KrF 리소그래피 수요는 2023년까지 240% 확대(2019년 대비)가 예상된다.

2020년 11월 출하 이래 많은 사용자로부터 호평을 얻고 있는 기가포톤의 신형 KrF 리소그래피 광원 G60K는 높은 수요에 부응하기 위해 올해 11월부터 양산을 시작했다. G60K의 가장 큰 특징은 업계가 요구하는 가동률 향상과 환경에 대한 지속 가능성을 제공하고 있다.

가동률 향상은 60W 고출력을 통한 노광 장치의 처리 능력 향상과 모듈의 내구성 향상을 통한 유지 보수 빈도 저감을 동시에 이룩함으로써 실현했다. 개량한 신형 전원은 소비 전력 5% 이상의 절감을 실현해 지속 가능성과 동시에 사용자 비용 절감도 제공한다. 또 G60K 플랫폼은 90W 출력까지 확장할 수 있으며, 향후 출력량 향상 수요에도 대응할 수 있다.

기가포톤 대표이사 사장 겸 CEO인 우라나카 카츠미 씨는 “기가포톤은 성숙한 프로세스 노드 세대에 대해서도 개발 투자를 실시하고 최첨단 기술을 구사한 제품을 제공해 고객의 가동률 향상과 지속 가능성에 공헌하겠습니다”라고 말했다.

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